2, 41, 1181, 61681, 9161, 6781, 4021, 1321, 42521761, 27961, 212601841, 85403261, 641, 1383881, 131381, 4278255361, 63541, 145501, 16936647121, 222361, 920421641, 150901, 272341, 1801385941, 632133361, 208518605101, 47763361, 84961, 470925821, 12109381