1, 3, 14, 81, 1014, 11980, 185135, 2957185, 55177430, 1102791486, 24593063637, 590082847530, 15422153310355, 431777665252193, 12979310840573506, 415322142223346473, 14131881256384651078, 508740244640618499598, 19337909204637171533213, 773511972387806145787180