特集2：支持电子设备制造的功能性药品

作为现代生活必需品的电脑、电视、手机等，意外地不为人知，但这些电子设备搭载的半导体和显示器等制造工序中使用了很多化学药品。关东化学通过提供高品质、高性能的电子工业用药品为社会做出贡献。

电子设备制造中的关东化学药品

在半导体或液晶显示器等电子器件制造工序中，在硅晶片或玻璃基板的清洗、连接晶体管间的金属布线的蚀刻等用途中使用药品根据过程的目的，各种各样的药品被分开使用。在数十纳米级的极微小的垃圾（粒子）和金属杂质（金属）成为产品缺陷的原因的半导体和显示器的制造现场，被使用的药品必须是高质量（高纯度·高清洁度）。

本公司作为电子工业用，持续供给金属·粒子到极限降低了的酸，碱，溶剂类的超高纯度药品约50年。另外，根据过程的目的，往往需要单一药品无法获得的性能。因此，本公司将几种药品混合，通过调整其成分和组成，使其具有必要性能的药品作为“功能性药品”进行开发和销售。功能性药品不仅要求高质量，而且要求高性能。本公司活用多年经验得到的药品相关技术，根据顾客的要求开发了很多功能性药品。

支撑高精细液晶电视普及的蚀刻液

这次在众多功能性药品中，介绍“Ti（钛）/Al（铝）/Ti层叠膜统一蚀刻液”。
这个产品，特别在液晶电视和手机等装载的液晶显示器的制造工序中被使用。在液晶显示器上，被称为构成与显示相关的像素的薄膜晶体管（TFT；Thin Film Transistor）“的电极结构配置在一面。TFT的电极材料，由于被使用的金属的种类和构造形态的最优化高精细显示和高速响应成为可能，在显示器制造厂的研究·开发盛行着。

其中开始采用的是Ti/Al/Ti层叠膜。在TFT电极的形成工序中，在玻璃基板上一面成膜作为电极材料的金属（Ti/Al/Ti），使用与照片的显影同样的方法转印金属膜上所要求的构造的图案设计后，为了除去不需要的部分而进行蚀刻。

蚀刻技术主要分为使用反应性气体（气体）的干蚀刻和使用药液的湿蚀刻两种。干蚀刻有加工精度高的优点，但另一方面也有使用气体的危险性高、环境负荷大、使用装置昂贵等缺点。另一方面，湿蚀刻与干蚀刻相比，加工精度稍差，但在安全性和成本方面超过了它。

一般来说，Al是用磷酸和硝酸混合的液体进行蚀刻，而Ti是耐药品性高、湿蚀刻困难的材料。以往，蚀刻Ti/Al/Ti时采用干蚀刻一次性除去3层的方式，或者采用干蚀刻Ti、湿蚀刻Al的多阶段方式。

今后的发展

在电子设备业界，随着DRAM和闪存的微细化、FPD的大型化、高精细化、高功能化，采用了新材料等技术革新正在进行。同时对药品要求更高质量、更高性能。到现在为止本公司，随着设备的技术革新挑战超高纯度药品的高品质化，回应了时代的需求。另外，由于每个材料与药品的相容性不同，所以在选择适合新材料的药品的同时，致力于开发更高性能的功能性药品。今后也将致力于研究和开发最先进的技术，通过支持电子设备发展的电子工业用药品的供给为社会做出贡献。

可持续性（CSR）