1, 3, 21, 903, 2667, 7077, 113799, 114681, 304311, 389193, 898779, 932799, 4893357, 6099429, 8131683, 8776257, 14452473, 38350263, 38647497, 40647747, 49427511, 99583113, 118465473, 128794323, 131158041, 152643813, 262275447, 300510651, 314353263, 335873559, 349662369