混酸Al蚀刻液

  • 强酸性，混酸系微细加工可能的Al蚀刻液。
  • 也可以作为Mo蚀刻液使用。

蚀刻速率的温度依赖性（静止条件）

产品列表

产品名称 使用温度（℃） 蚀刻速率
（nm/min.）		 处理方法
混酸Al蚀刻液 30-50 100 浸渍、喷雾两用



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