KNN系列

  • KNN(铌酸钾钠)薄膜蚀刻液。
  • 碱性,过氧化氢系组成,KNN的高精细加工可能。
  • 图案需要SiO2、TEOS、SiN等硬掩模。

KNN串行(日).jpg

产品一览表

产品名称 使用温度(℃) 蚀刻速率
(85℃,静止,nm/min.)
蚀刻断面。 处理方法
KNN-01 80~95 50 垂直 用于拖放
KNN-02 80~95 70 垂直 用于拖放

蚀刻率和截面形状根据KNN膜质而变化。




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