REC-01

  • 强酸性Ru薄膜用蚀刻液。
  • 也可以除去氧化钌。
  • 由于加温会缩短液体寿命，所以建议尽量在低温下使用。


蚀刻速率的温度依赖性

产品列表

产品名称 使用温度（℃） 蚀刻速率
（30℃，搅拌，nm/min.）		 处理方法
REC-01 20～40 100 间歇式、单片式



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