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关东化学株式会社
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腐蚀液
>MOSE系列
OSE系列
侧面蚀刻量小,可以进行IGZO膜的微细加工。
用酸性的有机酸系组成,实现了容易控制的低速蚀刻速率。
也可以作为非晶ITO蚀刻液使用。
蚀刻速率取决于IGZO膜质。
产品列表
产品名称
特征
使用温度(℃)
处理方法
OSE-001
低速型
30-50
浸渍、喷雾用
OSE-002
快速类型
30-50
浸渍、喷雾用
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