GHP-3系列

  • 弱酸性，过氧化氢系的Cu薄膜蚀刻液，高精细加工可能。
  • 根据液温的不同蚀刻速率也会变化，但是锥角和侧蚀刻量几乎没有变化。


蚀刻速率、锥角、侧蚀刻量温度依赖性

产品列表

产品名称 使用温度（℃） 蚀刻速率
（nm/min.）		 处理方法
GHP-3 20～40 200 浸渍、喷雾两用

蚀刻速率：30℃、搅拌500r.p.m.下测定值




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