AURUM系列

  • AURUM系列是碘系的Au蚀刻液。
  • AURUM-300系列可作为几乎不溶解Ni和Al的Au选择性蚀刻液使用。
  • AURUM-34、-36也可作为Pd蚀刻液使用。

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产品一览表

产品名称 蚀刻速率
(nm/min.)
精细加工性。 特征
AURUM-101 550 通用品、槽清洗等
AURUM-201 100 精细图案用
AURUM-302 100 高精细模式用、长寿命
AURUM-304 300 适用于高精细图案、寿命长、可蚀刻Pd
AURUM-306 80* 适用于高精细图案、寿命长、可蚀刻Pd
AURUM-308 650* 高精细图案用、寿命长、高速蚀刻液
AURUM-314 350 高精细模式用、长寿命
AURUM-401 100 精细图案用、碱金属自由

蚀刻速率为30℃,在弱搅拌条件下的测量值※仅印章为25℃时的测量值




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