AURUM系列
- AURUM系列是碘系的Au蚀刻液。
- AURUM-300系列可以作为几乎不溶解Ni和Al的Au选择蚀刻液使用。
- AURUM-306也可以作为Pd蚀刻液使用。
产品列表
| 产品名称 |
蚀刻速率
（nm/min.） |
微细加工性 |
特征 |
| AURUM-101 |
550 |
-什么 |
通用品、槽清洗等 |
| AURUM-201 |
100 |
△ |
精细图案用 |
| AURUM-302 |
100 |
◎ |
高精细图案用、长寿命 |
| AURUM-304 |
300 |
◎ |
高精细图案用、长寿命 |
| AURUM-306 |
80* |
◎ |
高精细图案用、长寿命、可Pd蚀刻 |
| AURUM-308 |
650* |
是的 |
高精细图案用、长寿命、高速蚀刻液 |
| AURUM-314 |
350 |
是的 |
高精细图案用、长寿命 |
| AURUM-401 |
100 |
△ |
精细图案用、无碱金属 |
蚀刻速率为30℃、弱搅拌条件下的测定值※仅标记25℃下的测定值
