AURUM系列

  • AURUM系列是碘系的Au蚀刻液。
  • AURUM-300系列,作为几乎不溶解Ni和Al,Au选择蚀刻液能使用。
  • AURUM-304,-305,-306也可作为Pd蚀刻液使用。


通用Au蚀刻液

AURUM-304

电解镀层蚀刻后的比较

产品一览

产品名称 蚀刻速率
(nm/min.)
微细加工性 特征
AURUM-101 五百五十 通用品、槽清洗等
AURUM-201 一百 精细图案用
AURUM-302 一百 高精细图案用,长寿命
AURUM-304 三百 高精细图案用,长寿命
AURUM-306 80* 高精细图案用,长寿命,Pd蚀刻液
AURUM-308 650* 高精细图形用,长寿命,高速蚀刻液
AURUM-314 三百五十 高精细图案用,长寿命
AURUM-401 一百 精细图案用、无碱金属

蚀刻速率为30℃、弱搅拌条件下的测量值※只有印章25℃的测定值




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