KPZ系列

  • 是PZT（钛酸锆酸铅）薄膜蚀刻液。
  • 强酸性，混酸系组成，能高速蚀刻PZT。
  • 蚀刻后的截面形状基本垂直。

KPZ系列（日）.jpg

产品列表

产品名称 使用温度（℃） 蚀刻速率
（35℃，强搅拌，μm/min.）		 刻蚀截面 处理方法
KPZ-02 30～40 1～3 垂直 喷雾用
KPZ-04 20～35 10～20（静止时5） 约80° 浸渍、喷雾两用

蚀刻速率和断面形状根据PZT膜质而变化。




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