开发、制造半导体器件不可或缺的超高纯度药品、具有特定功能的功能性药品等电子工业药品,提供给电子设备制造商。
在头发的1000分之1、仅0.05微米的线宽电路集成的半导体器件的制造中,即使是极微量的杂质也会引起很大的问题,为了进行精细的加工和精密的清洗,超高纯度的药品的存在是不可或缺的。
本公司给人的印象是试剂,实际上在电子工业药品行业也受到了全世界客户的高度评价。

 

成为世界标准的EL规格(Electronic Grade)药品的先锋

1960年代,根据电子机器制造商的要求,开发了比试剂更高纯度的药品。在世界范围内率先由关东化学发售的该产品的规格“EL”,就这样成为了电子工业药品的世界标准。
半导体器件种类繁多,被广泛使用。例如,数字设备领域中用于存储介质的闪存,医疗领域中用于胶囊内窥镜的CMOS传感器,汽车领域中搭载在混合动力车上的功率半导体,液晶电视领域中用于图像处理LSI,在能源领域中用于太阳电池等的半导体技术在我们身边的产品的制造中使用了很多电子工业药品。
关东化学作为超高纯度药品和功能性药品的先锋,以最优质的产品和最快抓住市场需求的产品化开发力支撑着电子产业的惊人进化。

成为世界标准的EL规格(Electronic Grade)药品的先锋
 

通过无电解镀层的金微细布线技术

介绍了近年来面向三维实现而开发的“无电解镀金的Au微凸起形成技术”。本公司的无电解镀金液,在φ数μm顺序的独立模式下,可以高速析出3μm/hr左右的析出速度,“无氰、中性、处理温度50~60℃”,操作性也很好。另外,可以适应批处理,通过控制搅拌,面内均匀性也很好。期待用于下一代半导体封装。

通过无电解镀层的金微细布线技术
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