纳米机电系统（NEMS）引起了科技界的兴趣。这些是机电系统，很像微电子机械系统，大多以共振模式运行，尺寸在深亚微米。在这种尺寸范围内，它们具有极高的基波共振频率、较小的活动质量和可承受的力常数；质量(问)共振系数在范围内问∼10三–105-明显高于电谐振电路。这些特性共同使NEMS适用于多种技术应用，如超快传感器、致动器和信号处理组件。在实验上，NEMS有望开拓声子介导的力学过程和介观力学系统量子行为的研究。然而，NEMS优化仍存在基础和技术挑战。在这篇综述中，我们将通过讨论这一快速发展领域的前景和挑战，平衡地介绍NEMS，并概述一个令人兴奋的新兴应用，即纳米机电质量检测。

话题
声子谱, 电气特性和参数, 纳米机电系统, 微机电系统科技, 静电学, 信号处理, 噪声地板, 干涉测量学, 质谱法, 胡克定律
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小野
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希伯特
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十、L。
 
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重印为
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©2005美国物理研究所。
2005
美国物理研究所
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