在这封信中，我们介绍了硅悬臂梁阵列作为微谐振器传感器的微加工和应用，该传感器具有纳米厚度，用于检测单个病毒粒子的质量。预制悬臂梁的尺寸在长度4-5μm、宽度1-2μm和厚度20-30 nm范围内。我们在研究中使用的病毒颗粒是痘苗病毒，它是痘病毒科是天花疫苗的基础。利用激光多普勒测振仪在环境条件下测量了悬臂梁在热噪声和环境噪声作用下的频谱。共振频率的变化是病毒粒子质量与悬臂梁表面结合的函数，这是检测方案的基础。我们已经演示了检测平均质量为9.5fg的单个痘苗病毒颗粒。这些设备可以作为检测空气中病毒颗粒的生物传感器的组件非常有用。

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