JELK系列

  • 传统的胺类剥离液很难剥离，可以剥离离子植入后的抗蚀剂和干膜抗蚀剂。
  • 不含羟胺，不属于消防法。
  • 因为不需要IPA护发素，所以只可以使用水护发素。


 JELKｼﾘｰｽﾞ①   JELKｼﾘｰｽﾞ②.jpg

处理前		  
处理后

JELK-101处理前后的注册表/Cu/TiN/TEOS/Si基板（25℃、搅拌条件、2分钟）

产品一览表

产品名称 特征

可以防腐的材料。

使用时间
（分钟）

使用温度
（℃）
JELK-001

系列中剥离能力最高

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Ox等

1～30

25~70
JELK-101

金属防腐蚀性强。

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Ox、Al-Cu、Ag、W等
JELK-102

金属防食性优秀，不属于毒剧法
JELK-103

优越于剥离性和防腐蚀性的平衡



产品名称

蚀刻速率（nm/min:60℃搅拌浸渍）

Al-Cu

W

 TEOS TiN
JELK-001 56.9 0.3 0.1 0.1
JELK-101 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-102 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-103 4.7 0.3 0.1 0.1

 




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