JELK系列,系列

  • 在以往的胺系剥离液中,可以剥离难以剥离的离子植入后的抗蚀剂和干膜抗蚀剂。
  • NMP、不含羟胺。


JELK(剥离)(20240514-01).jpg   JELK(剥离)(20240514-02.jpg   JELK(剥离)(20240514-03.jpg 
处理前  

NMP 60℃ 15min. 搅拌浸渍后

 

JELK-205 60℃ 5min.搅拌浸渍后

 

产品列表

产品名称 特征 选择性 建议
使用温度
(℃)
建议
冲洗
JELK-001

不属于消防法危险品
系列中剥离能力最高

SiN、SiO2Ti、TiN、Cr、Ni、Cu、TaN、Au等等

25~70

 

JELK-100
系列,系列

不属于消防法危险品
金属或树脂材料防腐蚀性优异

Al-Cu、SiN、SiO2Ti、TiN、Cr、Co、Ni、Cu、GaN、Ag、IGZO、TaN、W、Au等等

JELK-200
系列,系列

剥离性和金属防腐蚀性优异
或者
IPA

JELK-300
系列,系列

不符合毒剧法的毒物

JELK-400
系列,系列

超声波对应

JELK-500
系列,系列

干膜抗蚀剂剥离用
支持精细图案

SiN、SiO2Ti、TiN、Cr、Ni、Cu、TaN、Au等等


 




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