JELK系列

  • 传统的胺类剥离液很难剥离,可以剥离离子植入后的抗蚀剂和干膜抗蚀剂。
  • 不含羟胺,不属于消防法。
  • 因为不需要IPA护发素,所以只可以使用水护发素。


 JELKシリーズ①   JELKシリーズ②.jpg

处理前
 
处理后

JELK-101处理前后的注册表/Cu/TiN/TEOS/Si基板(25℃、搅拌条件、2分钟)

产品一览表

产品名称 特征

可以防腐的材料。

使用时间
(分钟)

使用温度
(℃)

JELK-001

系列中剥离能力最高

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Ox等

1~30

25~70

JELK-101

金属防腐蚀性强。

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Ox、Al-Cu、Ag、W等

JELK-102

金属防食性优秀,不属于毒剧法

JELK-103

优越于剥离性和防腐蚀性的平衡




产品名称

蚀刻速率(nm/min:60℃搅拌浸渍)

Al-Cu

W

TEOS TiN
JELK-001 56.9 0.3 0.1 0.1
JELK-101 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-102 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-103 4.7 0.3 0.1 0.1

 




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