Intrinsic roughness and interfaces of Cr/Be multilayers

Chkhalo, N.; Pleshkov, R.; Polkovnikov, V.; Svechnikov, M.; Zorina, M.

doi:10.1107/S160057672101027X

Cr/Be多层膜的固有粗糙度和界面

R.普列什科夫,北Chkhalo,V.波尔科夫尼科夫,M.Svechnikov先生和M.Zorina先生

利用X射线反射仪、漫反射X射线散射和原子力显微镜研究了Cr/Be多层镜界面的结构。这些方法的结合使得分离每个样品的粗糙度和层间扩散/混合的贡献成为可能。在2.26–0.8的周期厚度范围内 nm，发现Cr/Be多层镜的生长粗糙度不依赖于周期厚度，为～0.2 纳米。粗糙度和扩散度的分离允许估计层材料混合以及由此产生的光学对比度下降，与理想的锐利结构相比，光学对比度从0.85到0.17。

关键词：多层膜；粗糙度，粗糙度；相互扩散；反问题.

阅读文章类似文章

格式		BIBTeX公司
		尾注
		RefMan参考手册
		请参阅
		Medline公司
		成本加保险费、运费
		SGML公司
		文本
		纯文本

格式		BIBTeX公司
		尾注
		RefMan参考手册
		请参阅
		Medline公司
		成本加保险费、运费
		SGML公司
		文本
		纯文本

搜索IUCr日志		国防部		高级搜索
作者		体积	第页