Extended model for the reconstruction of periodic multilayers from extreme ultraviolet and X-ray reflectivity data

Chkhalo, N.; Gaman, D.; Nechay, A.; Pariev, D.; Salashchenko, N.; Svechnikov, M.; Vainer, Y.

doi:10.1107/S1600576717012286

基于极端紫外和X射线反射率数据重建周期性多层膜的扩展模型

M.Svechnikov先生,D.帕里耶夫,A.Nechay公司,N.萨拉什琴科,北Chkhalo,Y.瓦纳和D.加曼

提出了一种扩展模型，用于根据X射线和极端紫外线范围内的反射测量数据重建多层纳米结构。与标准模型方法不同，在标准模型方法中，过渡区预先定义为一个特定函数，过渡层在扩展模型中被寻求为一次多个函数的线性组合。这使我们能够描述一类更广泛的多层结构，它们具有形成过渡区的不同主要物理机制。扩展模型在经典模型方法和所谓的无模型方法之间处于中间位置。在数值模拟和多层Mo/Be反射镜退火的实际实验中，详细说明了所述方法的效率。

关键词：X射线反射计；反问题；模型结构重建；多层膜.

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