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这种新的衍射仪利用角度和空间方面来创建一个静止的高分辨率X射线衍射仪,该衍射仪将在一秒内收集高质量的数据。仪器专门针对不同的材料进行配置,但当设置要分析的样品时,只需在数据采集之前将其大致放置在支架上。通过适当使用倒易空间,波长色散受到限制,并且通过使用实空间的空间分辨率可以创建高角度分辨率的数据。衍射仪的组件依赖于固态位置敏感探测器。散射剖面的质量基本上与样品的准确方向无关。对散射剖面进行了模拟,以包括光谱贡献和衍射仪的所有组件。通过模拟,将InGaAs结构和SiGe结构的实验轮廓和所得模型与传统的高分辨率衍射仪进行了比较。

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