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沈一平;罗欣;王松来;李雪军

基于五自由度柔性的纳米定位工作台的动力学分析。 （英语） Zbl 1435.70012号

数学。问题。工程师。 2019年，文章ID 8501583，第11页（2019年）.
摘要：本文建立了一个多体动力学模型，用于半导体光刻投影光学系统中基于五自由度弯曲的纳米定位工作台的动力学分析。五自由度工作台被视为由弹性柔性铰链互连的刚体组件。考虑柔性铰链的长度效应，根据刚体的空间运动，采用拉格朗日方法建立了多刚体动力学方程。为了提高建模精度，考虑了常用圆形柔性铰链的剪切效应和扭转柔度。文中还讨论了各种非平面柔度公式的精度。为了验证所建立的动力学模型，利用ANSYS进行了有限元分析（FEA），并对主要柔性复合结构和整体五自由度工作台进行了模态锤击试验。分析模态频率与有限元分析和实验测试结果一致。研究结果对分析和优化基于五自由度柔性的纳米定位平台具有重要意义。

MSC公司：

70B15号机组 机构和机器人运动学
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\textit{Y.Shen}等人，数学。问题。2019年工程，文章ID 8501583，11 p.（2019；Zbl 1435.70012）
全文： 内政部

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