提出了一种X射线实验的可行性研究，通过该实验可以测量硅片相对于理想参考硅晶体的晶格参数，精度为10-7提出了对称布拉格情况下的多晶体几何结构，使用单片单色器作为分束器。样品和分析仪晶体相对于单色仪对齐，分析仪围绕其Bragg位置旋转产生两个衍射峰。它们的分离与单色器和样品的晶格参数之间的差异有关。样品可以是任何商业切片的一部分，通常从铸锭上切下，表面法线和标称晶体方向之间有一定角度，并且由于一面的镜面抛光而弯曲。此外，通过平面工艺在表面上生长的层可以诱导弯曲。错切角和曲率会影响衍射峰的位置。X射线追踪和选择的测量程序消除了这些影响。
