DeerClean-TRP系列

是对Cu和各种low-k膜不给予化学性的损坏，能同时除去干蚀刻后的残渣和TiN硬掩模的干蚀刻残渣除去液。

产品名称	选择性	TiN蚀刻速率（nm/min.）
DeerClean-TRP1	Cu、low-k、Co、AlOx	14
DeerClean-TRP2	Cu、low-k	25

蚀刻速率为60℃、无搅拌条件下测定值

关于电子材料
联系我们

电子邮件查询

电话咨询