SWPR系列

  • 可以去除干蚀刻残渣和抗蚀剂。
  • 对各种Al系、Cu系的配线材料和层间绝缘膜几乎没有损伤。
  • 可以进行纯水冲洗，不需要IPA冲洗。
  • 不含羟胺，不属于毒物、剧毒物。

产品列表

产品名称 分类 应用进程 残渣
可移除性		 抗蚀剂
可移除性		 处理温度
（℃）		 处理时间
（分钟）
SWPR-207 碱性 Al配线、通孔 是的 是的 40-70 5-20
SWPR-301 酸性 Al配线 是的 X 25～40 1-5
SWPR-501 中性 Cu配线、通孔 是的 是的 25～40 5-20



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