GHP-3 series

  • GHP-3is ahydrogen peroxide based Cuthin film etchant.（Mild acidic）
  • Ething rate depends on temperature，but taper angle and side etching almost doesn’t。

GHP-3.jpg


产品线

产品，产品 温度 出口，出口
（nm/min.）		 Treatment method
GHP-3 20～40 200 分度和分度

Etching condition:30℃，stirring 500rpm




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