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微机电系统

将电气和机械部件组合在一起的一类设备,其尺寸至少在微米范围内(1微米到1毫米之间)。它们包括传感器、执行器、微导管和微泵。

引入年份:2009

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副标题:

树木编号:E07.305.343,J01.637.509

MeSH唯一ID:D055617

入学条件:

  • 微机电系统
  • 微型机电系统
  • 微电子机械系统
  • 微电子机械系统
  • 微机电系统
  • 微电子机械系统
  • 微电子机械系统
  • 微机电系统
  • 微电子机械系统
  • 微电子机械系统
  • 生医微机电

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