(一)结构照明设备的简化图。来自多模光纤的扰频激光被准直到线性相位光栅上。衍射级数–1、0和+1重新聚焦到物镜的后焦平面。光束经物镜重新准直后，在样品的焦平面上相交，在焦平面上干涉并产生具有横向和轴向结构的强度图案(b条). 图案的有限轴向范围与其空间频率的轴向展宽有关(图2c（c）). 通过电荷耦合装置观察样品的发射光(CCD（电荷耦合器件）)双色镜相机(DM公司).
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