JELK series

  • The resist strippers that do not damage a variety of metallic materials。
  • Optimizing the corrosion inhibitor enabled to use this series of products as dry etching post-etch residue removers。


JELK系列①   JELK系列②.jpg

弯曲处理		  
空气处理

Cleaning performance（JELK-101）
Substrate structure:TiN/Al-Cu/TiN/TEOS，Temperature:60℃，Time period:30min.，Method:Dip（left to stand）

产品线

产品，产品 Features

实心钢筋混凝土

处理时间
（min）

温度
JELK-001

JELK series of Highest stripping capability among the products of

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、Th-Ox、and so on

1-30

25～70
JELK-101

超级事故保护性能

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、Th-Ox、Al-Cu、Ag、W、and so on
JELK-102

Superior metal corrosion protection performance and does not fall under the Poisonous and Deleterious Substances Control Law
JELK-103

超负荷承载性能和corrosion保护性能



产品，产品

Etching rate（nm/min.at60℃）

Al-Cu

W

 TEOS TiN
JELK-001 56.9 0.3 <0.1 <0.1
JELK-101 0.1 0.1 <0.1 <0.1
JELK-102 0.1 0.1 <0.1 <0.1
JELK-103 4.7 0.3 <0.1 <0.1

 




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