支持信息

半导体器件
蚀刻装置、测长装置、晶片表面检查装置等。

电子显微镜/探针显微镜
透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束加工观察装置（FIB/FIB-SEM）、X射线分析装置、超微粒体、离子铣削装置、光掩模修复（MR）、扫描型探针显微镜（SPM/AFM）、扫描白色干涉显微镜（CSI）等。

分析装置
分光光度计、分光荧光光度计、原子吸光光度计、高速液相色谱、高速氨基酸分析仪、色谱数据处理装置、蛋白质解析用液相色谱质谱仪等，以及气体阻隔试验装置等进口设备。

测量控制系统
各种工艺用工业仪表及各种成套设备用测量、控制、生产管理系统、各种水质分析仪、遥测装置、二恶英前躯体监测仪、PCB监测仪等。

医用器械
生化自动分析装置、检体检测自动化系统、基因相关检测系统、高纯水制造系统等。

零部件、消耗品/相关设备
日立高科技制造装置、系统的部件、消耗品、以及各种电子显微镜、分析装置的周边设备、ALLIED公司制造的精密研磨装置、Leica公司制造的电子显微镜用试样制作装置、新金属终端机公司制造的金刚石线切割机等以及搬迁。