李海旺等：非对称结构SOI基MEMS电容传感器的热漂移研究。(2019) 轴颈/传感器/LiZTGT19 10.3390年/19163522年 问题92596650 非对称结构SOI基MEMS电容传感器的热漂移研究。 5 李海旺 1 翟燕新 2 智涛 三 英轩桂 4 小谭 5 3522 传感器 传感器 19 16 2019 dblp记录“日志/传感器/LiZTGT19”的RDF数据的来源信息 2020-05-30T19:59:40+0200