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基于Arlequin耦合和目标算法的聚合物材料自适应多尺度建模。 (英语) Zbl 1229.74006号

小结:在这项工作中,建模误差的后验估计和控制的概念被扩展到了分子静力学中的大规模问题。这里开发的方法涉及多尺度建模的系统方法,其中混合颗粒-组分模型序列是使用设计用于控制建模误差的自适应面向目标算法生成的。我们关注半导体制造中遇到的一类特殊问题,其中分子模型用于模拟半导体器件制造中使用的聚合物材料的变形。描述了导致聚合物材料复杂分子模型的算法,该模型旨在产生蚀刻阻挡层,这是压印光刻技术用于半导体制造的关键组件。替代模型包括聚合物的分子模型和聚合物作为非线性超弹性材料的粗尺度模型的组合。这种耦合模型是基于所谓的Arlequin方法。非线性弹性连续体模型的系数是通过对聚合物模型中具有代表性的体积单元进行数值实验确定的。此外,在连续体方程中加入了一个简单的初始应变模型,以模拟材料的固有收缩。三维数值结果证明了耦合模型、误差估计和自适应建模过程的有效性。

MSC公司:

74A25型 固体力学中的分子、统计和动力学理论
74S05号 有限元方法在固体力学问题中的应用
82D60型 聚合物统计力学
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全文: 内政部

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