洛普申科，V.V。 用谱域积分方程法分析平面圆柱晶圆缺陷。 （英语。俄文原件） Zbl 1332.78015号 计算。数学。模型。 27，第1期，44-59（2016）; Prikl的翻译。材料信息48，56-75（2015）。 摘要：开发了一种在光谱域中使用体积积分方程的计算机算法，用于分析晶圆表面或其附近椭圆柱形状的平面物体的散射特性。针对不同材料和不同形状的粒子，证明了该算法的能力。 引用于1文件 MSC公司： 78A45型 衍射、散射 78个M12 有限体积方法、有限积分技术在光学和电磁理论问题中的应用 关键词：波浪散射；衍射；积分方程；数学建模；纳米结构 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{V.Lopushenko}，计算。数学。模型。27，No.1，44-59（2016；Zbl 1332.78015）；Prikl的翻译。材料信息48，56-75（2015） 全文： 内政部 参考文献： [1] 于。A.Eremin、J.S.Stover和N.V.Orlov，“基于离散源方法的硅片特性散射建模”，《光学工程》，38，第8期，1296-1304（1999）。 [2] 于。A.Eremin和V.V.Lopushenko，“基底平面缺陷分析的谱域积分方程方法，微分方程，第9期，1173-1181（2014）·Zbl 1315.78008号 [3] V.I.Dmitriev和E.V.Zakharov，《计算电动力学中的积分方程法》[俄语]，Maks出版社，莫斯科（2008）。 [4] 于。A.Eremin和V.I.Ivakhnenko，“用积分变换法分析晶片上的不均匀性”，《微分方程》，36，第9期，1370-1380（2000）·Zbl 0990.78001号 [5] M.Born和E.Wolf，《光学原理》[俄文翻译]，瑙卡，莫斯科（1970年）·Zbl 1430.78001号 [6] L.Felsen和N.Marcuvitz，波的辐射和散射[俄文翻译]，第1卷，和平号，莫斯科（1978）·Zbl 0050.41802号 此参考列表基于出版商或数字数学图书馆提供的信息。其项与zbMATH标识符进行启发式匹配，可能包含数据转换错误。在某些情况下，zbMATH Open的数据对这些数据进行了补充/增强。这试图尽可能准确地反映原始论文中列出的参考文献，而不要求完整或完全匹配。