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威廉·米切尔。;约翰·S·维拉鲁比亚。

自适应网格细化扫描电子显微镜模拟的后验误差估计。 （英语） Zbl 1428.65091号

科学杂志。计算。 80，编号3，1700-1715（2019）.
摘要：扫描电子显微镜中的强度变化是样品形貌和成分的复杂函数。当明确说明信号和被测对象之间的关系时，测量精度得到了提高。由于信号的决定因素很多，理论上的理解通常采用模拟器的形式。对于带有带电非导电区域的样品，模拟的一个阶段是有限元分析以计算电场。通过使用自适应网格细化，可以减小有限元网格的大小，从而减少计算时间。我们提出了一种新的后验局部误差估计器和自适应网格细化算法，用于扫描电子显微镜仿真。该误差估计旨在最小化电子轨迹中的误差，而不是传统误差估计器最小化的误差能量范数。通过一个已知精确解的测试问题，我们表明，自适应网格可以实现与精心设计的手绘网格相同的电子轨迹误差，同时使用的顶点少3.5倍，计算时间少2.25倍。

MSC公司：

65N30型 含偏微分方程边值问题的有限元、Rayleigh-Ritz和Galerkin方法
65牛顿50 涉及偏微分方程的边值问题的网格生成、细化和自适应方法
78甲15 电子光学
78A30型 静电和磁力静力学
65奈拉 涉及偏微分方程的边值问题的误差界

关键词：

自适应网格细化;后验误差估计;扫描电子显微镜模拟;有限元分析

软件：

Gms小时;PHAML公司
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
\textit{W.F.Mitchell}和\textit{J.S.Villarrubia}，J.Sci。计算。80，第3号，1700--1715（2019；Zbl 1428.65091）
全文： 内政部 链接

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