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开发和验证用于oled生产过程中稀薄气体流动的耦合Navier-Stokes/DSMC模拟。 (英语) Zbl 1410.76352号

摘要:在本文中,我们提出了一个耦合Navier-Stokes/直接模拟蒙特卡罗(NS/DSMC)求解器,用于模拟有机发光二极管的生产。在这个生产过程中,有机分子层从气相沉积在基底上。在低压管道系统的引导下,沉淀物质通过喷嘴流入高真空室,在那里沉积。该系统的典型特征是沿流道的压力大幅下降,努森数也相应增加。因此,只有耦合的NS/DSMC模拟是可能的。整个领域使用商业仿真软件ANSYS Fluent,而对于Knudsen数较高的领域则使用DSMCFoam,这是开源CFD工具箱OpenFOAM的一部分。从整个域的NS解开始,计算细分参数,定义DSMC子域的开始。数据使用基于状态的耦合进行交换,并在重叠区域中进行比较,两者都有效。对NS模拟中的晶格单元数和DSMC模拟中每个单元的DSMC粒子数进行了分析。此外,还研究了不同自由度的流体的影响。为了验证整个仿真,将结果与两个实验的结果进行了比较,取得了很好的一致性。

MSC公司:

76米28 粒子法和晶格气体法
76P05号机组 稀薄气体流动,流体力学中的玻尔兹曼方程
76层65 湍流的直接数值模拟和大涡模拟
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
全文: 内政部

参考文献:

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