金惠元;你，苏一。 使用非重复图案图像的特征点匹配进行缺陷检测。 （英语） 兹比尔1328.68275 PAA，模式分析。申请。 17，第2期，415-429（2014）. 摘要：缺陷检测是晶圆、TFTLCD和PCB生产过程中质量控制的重要技术。使用成品图像进行检查。这些图像被分为两个不同的组——具有规则循环重复图案的图像和没有重复图案的图片。需要一个用于比较的标准对象，因为对于没有重复图案的区域，无法进行手动缺陷检测。在这些区域，缺陷检测是通过对比参考模式和被检测模式来实现的。已经研究了使用参考图像进行检测的方法，但由于其对图像精确对齐的要求，这些方法存在局限性。本文提出了一种利用特征点匹配的缺陷检测方法来克服这种局限性。使用角点检测器提取特征点，并通过查找两个特征点集之间的对应关系来检测缺陷。通过使用晶片SEM图像来评估所提出的方法的性能，并与传统方法进行比较。实验结果表明，该方法比传统方法具有更高的检测精度，并且对对准误差和噪声不敏感。 MSC公司： 68单位10 图像处理的计算方法 68T45型 机器视觉和场景理解 关键词：缺陷检测;检查;计算机视觉;特征点匹配 软件：SIFT公司;PCA-SIFT公司 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{H.W.Kim}和\textit{S.I.Yoo}，PAA，模式分析。申请。17，第2号，415--429（2014；Zbl 1328.68275） 全文： DOI程序 参考文献： [1] Newman TS，Jain AK（1995）自动化目视检查调查。计算机视觉图像理解61（2）：231-262·doi:10.1006/cviu.1995.1017 [2] Madhav M，Fikret E，Cihan HD，Shou T（1996）《PCB自动检测算法：一项调查》。计算。视觉。图像。了解63（2）：287-313 [3] Wu W-Y，Wang M-JJ，Liu C-M（1996）《印刷电路板机器视觉自动检测》。计算Ind 28（2）：103-111·doi:10.1016/0166-3615（95）00063-1 [4] Kumar A（2008）基于计算机视觉的织物缺陷检测：一项调查。IEEE Trans-Ind-Electron 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