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劳拉·鲁齐科尼;穆罕默德·尤尼斯。;斯特凡诺·伦奇

电致非完美微束：解释和预测设备响应的动态完整性。 （英语） 兹比尔1293.74271

麦加尼卡 第7号第48页，1761-1775页（2013年）.
小结：在本研究中，我们处理了一个微电子机械系统（MEMS），并开发了一个动态完整性分析来解释和预测实验响应。该装置由夹持式多晶硅微束组成，该微束由静电和电动驱动。它有不可忽视的缺陷，这是微加工过程的典型结果。推导了一个单模降阶模型，并通过频率响应图和行为图在第一对称固有频率附近进行了广泛的数值模拟。当频率和电动电压都变化时，观察到典型的软化行为，并探索了整体情况。我们表明，基于运动方程直接数值积分的模拟与实验数据符合良好。然而，这些理论预测在某些方面并没有完全实现。特别是，实际中每个吸引子的存在范围比模拟中的小。这是因为这些理论曲线代表了不存在干扰的理想极限情况，在实际条件下，这种情况永远不会发生。在应用中，对每个吸引子的实际（而不仅仅是理论）存在范围进行可靠的预测是至关重要的。为了克服这种差异，并将结果推广到存在干扰的实际情况，开发了一种动态完整性分析。在引入动态完整性概念后，绘制了完整性轮廓和完整性图。他们能够描述每个吸引子是否足够鲁棒，以容忍干扰。此外，它们检测参数范围，在该范围内，每个分支在实践中都可以可靠地观察到，并且相反，在该范围内变得脆弱，即，它们提供有价值的信息，以便根据期望的结果并根据预期的干扰在安全条件下操作设备。

引用于7文件

MSC公司：

74K10型 杆（梁、柱、轴、拱、环等）
2015年1月74日 固体力学中的电磁效应
74小时45 固体力学动力学问题中的振动
74M25型 固体微观力学

关键词：

微电子机械系统;多稳定性;非线性动力学;动力完整性

软件：

力学
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
\textit{L.Ruzziconi}等人，《麦加尼卡》第48卷第7期，1761-1775页（2013年；Zbl 1293.74271）
全文： 内政部

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