Zheltukhin,V.S。;Shemakhin,A.Yu。 低压下射频等离子体射流的模拟。 (俄语。英文摘要) Zbl 1457.76018号 材料模型。 25,第6号,64-71(2013). 小结:本文描述了载气在Knudsen(8\cdot 10^{-3}\leq\text{Kn}\leq7\cdot 10 ^{-2})过渡区13.3~133Pa压力下射频等离子体流动的数学模型。该模型基于中性组分的统计方法以及电子和离子组分的连续模型。本文给出了在无扰流和样品回流下等离子体流中性分量的计算结果以及电子-离子气体的模型问题。 MSC公司: 76-10 流体力学问题的数学建模或模拟 76X05型 电磁场中的电离气体流动;浆流 关键词:数学建模;射频等离子体;低压;喷射流;瞬态模式;蒙特卡罗方法;统计建模 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{V.S.Zheltukhin}和\textit{A.Yu.Shemakhin}.材料模型。25,编号6,64-71(2013;兹bl 1457.76018) 全文: 内政部 MNR公司 参考文献: [1] 阿卜杜林,I.Sh;Zheltukhin,V.S。;萨格比耶夫,I.R。;Shaekhov,M.F.,《低压射频等离子体中的纳米层修饰》(2007),喀山:喀山州立大学,喀山 [2] Belotserkovskii,O.M.,《连续介质力学数值模拟》(1984),莫斯科:Gl.Red.Fiz-材料照明。,莫斯科 [3] Bird,G.A.,《分子气体动力学和气体流动的直接模拟》(1994年) [4] 杜洛夫,V.G。;Lukyanov,G.A.,《流出过程的气体动力学》(1984),莫斯科:瑙卡,莫斯科·Zbl 0611.76078号 [5] Pechatnikov,Yu M.,稀薄气体的物理现象和瞬态过程,Prikl。Fiz.公司。,第2期,19-25(2004) 此参考列表基于出版商或数字数学图书馆提供的信息。其项与zbMATH标识符进行启发式匹配,可能包含数据转换错误。在某些情况下,zbMATH Open的数据对这些数据进行了补充/增强。这试图尽可能准确地反映原始论文中列出的参考文献,而不要求完整或完全匹配。