Wikström,A。;古德蒙德森,P。;苏雷什,S。 沉积在基底上的周期性细线的热弹性分析。 (英文) Zbl 0982.74040号 J.机械。物理学。固体 47,第5期,1113-1130(1999). 总结:我们分析了最初平坦各向同性衬底上图案细线产生的热弹性应力和曲率。在具有图案化线条的基板和含有横向基体裂纹的叠层各向异性复合材料之间进行连接。利用这种类比和各向异性板理论,我们导出了体积平均应力以及沿直线和垂直于直线的曲率的近似解析表达式,以及直线的任何厚度、宽度和间距。分析的预测结果与实验和有限元模拟的Al、Cu或SiO_2线Si衬底的应力和曲率进行了比较,结果令人满意。 引用于4文件 MSC公司: 74K20型 盘子 74F05型 固体力学中的热效应 74E30型 复合材料和混合物特性 关键词:残余应力;细线;初始平坦各向同性基底;层状各向异性复合材料;横向基体裂纹;各向异性板理论;体积平均应力;曲率 软件:ABAQUS公司 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{A.Wikström}等人,J.Mech。物理学。固体47,编号5113-1130(1999;Zbl 0982.74040) 全文: 内政部 参考文献: [1] ABAQUS,1997年。5.6版,通用有限元程序。Hibbit,Karlsson and Sorensen,Inc.,美国罗得岛州Pawtucket。;阿巴库斯,1997年。5.6版,通用有限元程序。Hibbit,Karlsson and Sorensen,Inc.,美国罗得岛州Pawtucket。 [2] Adolfsson,E.,Gudmundson,P.,1997年。具有横向基体裂纹的复合材料薄板弯曲和拉伸组合的热弹性性能。《国际固体结构杂志》34,2035-2060。;Adolfsson,E.,Gudmundson,P.,1997年。具有横向基体裂纹的复合材料薄板弯曲和拉伸组合的热弹性性能。国际固体结构杂志342035-2060·Zbl 0947.74514号 [3] Aleck,B.J.,1949年。沿边缘夹紧的矩形板中的热应力。J.应用。机械。16, 118-122.; Aleck,B.J.,1949年。沿边缘夹紧的矩形板中的热应力。J.应用。机械。16, 118-122. ·Zbl 0036.39603号 [4] Besser,P.R.、Marieb,T.M.、Lee,J.、Flinn,P.A.、Bravman,J.,1996年。钝化Al-0.5应变弛豫的测量和解释 [5] Blech,I.A.,Levi,A.A.,1981年。关于夹板中Alecks应力分布的评论。J.应用。机械。48, 442-445.; Blech,I.A.,Levi,A.A.,1981年。关于夹板中Alecks应力分布的评论。J.应用。机械。48, 442-445. [6] 布雷奇,I.A.,梅伊兰,E.S.,1967年。含有不连续表面薄膜的衬底晶体的增强X射线衍射。J.应用。物理学。38, 2913-2919.; 布雷奇,I.A.,梅伊兰,E.S.,1967年。含有不连续表面薄膜的衬底晶体的增强X射线衍射。J.应用。物理学。38, 2913-2919. [7] Gouldstone,A.、Shen,Y.-L.、Suresh,S.、Thompson,C.V.,1998年。钝化和未钝化金属互连中应力的演变。J.马特。Res.,新闻稿。;Gouldstone,A.、Shen,Y.-L.、Suresh,S.、Thompson,C.V.,1998年。钝化和未钝化金属互连中应力的演变。J.马特。Res.,新闻稿。 [8] Gudmundson,P.,Zang,W.,1993年。含有横向基体裂纹的复合材料层合板热弹性性能的分析模型。《国际固体与结构杂志》30,3211-3230。;Gudmundson,P.,Zang,W.,1993年。含有横向基体裂纹的复合材料层合板热弹性性能的分析模型。《国际固体与结构杂志》30,3211-3230·Zbl 0816.73038号 [9] 胡S.M.,1979年。基底中的薄膜边缘诱导应力。J.应用。物理学。50, 4661-4666.; 胡S.M.,1979年。基底中的薄膜边缘诱导应力。J.应用。物理学。50, 4661-4666. [10] Isomae,S.,1981年。薄膜硅单晶衬底的应力分布。J.应用。物理学。52, 2782-2791.; Isomae,S.,1981年。薄膜硅单晶衬底的应力分布。J.应用。物理学。52, 2782-2791. [11] Jones,R.E.,Basehore,M.L.,1987年。封装细线铝互连的应力分析。申请。物理学。莱特。50, 725-727.; Jones,R.E.,Basehore,M.L.,1987年。封装细线铝互连的应力分析。申请。物理学。莱特。50, 725-727. [12] Korhonen,M.A.,Black,R.D.,Li,C.-Y.,1991年。硅衬底上钝化铝线金属化的应力松弛。J.应用。物理学。69, 1748-1755.; Korhonen,M.A.,Black,R.D.,Li,C.-Y.,1991年。硅衬底上钝化铝线金属化的应力松弛。J.应用。物理学。69, 1748-1755. [13] Moske,M.A.,Ho,P.S.,Mikalsen,D.J.,Coumo,J.J.,Rosenberg,R.,1993年。受限金属线中热应力和应力松弛的测量:热循环过程中的I应力。J.应用。物理学。74, 1716-1724.; Moske,M.A.,Ho,P.S.,Mikalsen,D.J.,Coumo,J.J.,Rosenberg,R.,1993年。受限金属管线中热应力和应力松弛的测量:热循环期间的I应力。J.应用。物理学。74, 1716-1724. [14] Sauter,A.I.,Nix,W.D.,1992年。与基板连接的铝线中的热应力。IEEE传输。康彭。混血儿。制造技术。15, 594-600.; A.I.绍特,W.D.尼克斯,1992年。与基板连接的铝线中的热应力。IEEE传输。康彭。混血儿。制造技术。15, 594-600. [15] Shen,Y.-L.,Suresh,S.,Blech,I.A.,1996年。硅片上图案线引起的应力、曲率和形状变化。J.应用。物理学。80, 1388-1398.; Shen,Y.-L.,Suresh,S.,Blech,I.A.,1996年。硅片上图案线引起的应力、曲率和形状变化。J.应用。物理学。80, 1388-1398. [16] G.G.斯通尼,1909年。电解沉积金属膜的张力。程序。R.Soc.伦敦。A82、172-175。;G.G.斯通尼,1909年。电解沉积金属膜的张力。程序。R.Soc.伦敦。A82,172-175。 [17] Yeo,I.-S.,Ho,P.S.,Anderson,S.G.H.,1995年。Al(Cu)细线的热应力特征:I-未钝化线结构。J.应用。物理学。78, 945-952.; Yeo,I.-S.,Ho,P.S.,Anderson,S.G.H.,1995年。Al(Cu)细线的热应力特征:I-未钝化线结构。J.应用。物理学。78, 945-952. 此参考列表基于出版商或数字数学图书馆提供的信息。其项与zbMATH标识符进行启发式匹配,可能包含数据转换错误。在某些情况下,zbMATH Open的数据对这些数据进行了补充/增强。这试图尽可能准确地反映原始论文中列出的参考文献,而不要求完整或完全匹配。