斯托扬诺夫;蒂姆·蒂尔福德;法里德·阿马卢;斯科特·卡吉尔;克里斯·贝利;马克·德斯穆利兹 利用压印成型工艺制造纳米结构的建模和优化研究。 （英语） Zbl 1284.74097号 工程计算。（布拉德夫） 28，第1期，93-111（2011）. 摘要：目的：纳米压痕成型（NIF）是一种能够实现高分辨率、低成本和高通量制造精细纳米级结构和图案的制造技术。本文的目的是使用建模技术模拟与亚微米尺寸图案形成相关的关键工艺步骤，并使用结果定义优化压印成型工艺的设计规则。设计/方法/方法：使用非线性有限元分析研究了许多工艺和图案相关参数对所制备纳米结构质量的影响。采用接触分析方法，对可成形材料在模压过程中的变形过程进行了建模，分析了大变形和温度相关的超弹性材料行为。利用模具和可成形材料之间接触界面的有限元分析来研究模具中机械、热和摩擦应力的形成。研究结果：压印压力、温度和定义图案的凹槽纵横比对成形结构的质量有显著影响。确定了所研究PMMA的最佳压印压力。研究发现，模样满足程度与压印压力呈非线性关系。评估了模具和基板之间热膨胀系数热失配差异的临界值，该差异在冷却阶段导致热应力。还确定了模式中的高应力区域。原创性/价值：提出了将NIF制造纳米结构中常见的裂纹和形状缺陷等缺陷风险降至最低的设计规则。建模方法可用于深入了解最佳压印过程控制。这有助于进一步将该技术确立为制造纳米级结构和图案的可行途径。 MSC公司： 第74页第10页 固体力学中其他性质的优化 74M25型 固体微观力学 关键词：变形;有限元分析;制造系统;建模;纳米技术;工艺效率 PDF格式BibTeX公司 XML格式引用 \textit{S.Stoyanov}等人，《工程计算》。（布拉德夫）28，第1期，93--111（2011；Zbl 1284.74097） 全文： 内政部 参考文献： [1] 内政部：10.1016/S0167-9317（96）00097-4·doi:10.1016/S0167-9317（96）00097-4 [2] 内政部：10.1007/s10853-005-6096-0·doi:10.1007/s10853-005-6096-0 [3] DOI:10.1016/S0038-1101（99）00028-3·doi:10.1016/S0038-1101（99）00028-3 [4] 内政部：10.1116/1.1415510·数字对象标识代码：10.1116/1.1415510 [5] 内政部：10.1063/1.1712836·doi:10.1063/1.1712836 [6] 内政部：10.1098/rsta.1948.0024·Zbl 0031.42602号 ·doi:10.1098/rsta.1948.0024 [7] 内政部：10.1108/09540910710843757·doi:10.1108/09540910710843757 此参考列表基于出版商或数字数学图书馆提供的信息。其项与zbMATH标识符进行启发式匹配，可能包含数据转换错误。在某些情况下，zbMATH Open的数据对这些数据进行了补充/增强。这试图尽可能准确地反映原始论文中列出的参考文献，而不要求完整或完全匹配。