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I.G.罗森。;家长T。;R·曼塞拉。;陈，P。;马杜卡尔，A。

砷化镓热氯腐蚀建模与仿真及其在实时反馈控制中的应用。 （英语） Zbl 1003.92040号

数学。计算。建模 35，编号3-4，335-360（2002）.
建立了模拟砷化镓热氯腐蚀的动力学模型。仿真开发的主要动机是设计和测试实时自适应反馈控制器，该控制器依赖于通过椭圆偏振光谱仪获得的刻蚀深度的原位光学测量。该模型的基础是蚀刻速率、氯压力和衬底温度之间的经验推导关系。腔室中的氯压力由节流阀调节，该节流阀确定用于抽空氯压力动力学的涡轮分子泵的有效泵送速率，并且使用具有零阶保持值位置命令脉冲的二阶阻尼谐振子来对节流阀的动力学建模。输出方程用于模拟这样一个事实，即基于椭偏术的蚀刻深度和腔室压力可以在离散的时间间隔内观测到。识别了模型中出现的不可测量参数，并使用实验数据验证了模型。设计了基于该模型的自适应线性二次高斯控制器，该控制器强制蚀刻以期望的速率进行，然后通过仿真进行了测试。
审核人：拉迪斯拉夫·普拉舍克（Plzeň）

MSC公司：

92F05型 其他自然科学（数学处理）
93立方厘米 控制理论中的应用模型
92E99型 化学
93C40型 自适应控制/观测系统

关键词：

半导体制造;热氯腐蚀;椭圆偏振光谱法
PDF格式BibTeX公司 XML格式引用
\textit{I.G.Rosen}等人，《数学》。计算。35号模型，编号3--4，335--360（2002；Zbl 1003.92040）
全文： 内政部

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