台式扫描电子显微镜（台式SEM）

标准搭载元素分析功能的高分辨率模型

• 倍率：80～150000倍
• 光学显微镜
  （颜色，20～135倍）
• 元素分析：标准搭载
• CeB_6个电子枪的高画质观察
• 辅助电子：选项

具有丰富扩展性的高分辨率模型

• 倍率：80～150000倍
• 带光学显微镜（彩色，20～135倍）
• 元素分析：选项
• CeB_6个电子枪的高画质观察
• 辅助电子：选项

导入电子显微镜的最佳入口模型

• 倍率：70-3000倍
• 带光学显微镜（黑白，20倍）
• 与上位机种相同的CeB_6个电子枪

采用大试料室的模型

• 倍率：80～100000倍
• 带光学显微镜（彩色，3～16倍）
• 最多可设置100×100mm的试料
• SEM可观察范围：50×50mm
  （可选扩展到100×100mm）
• 元素分析：选项
• CeB_6个电子枪
• 辅助电子：选项

用FE电子枪实现超高画质

• 最高倍率：100万倍
• 通过光学显微镜确认视野
• 元素分析：选项
• 电子枪
• 辅助电子：选项

颗粒材料的自动评价系统
自动快速评估颗粒材料的特性。
粒子均匀性、异形、异物粒子的确认等
可用于辅助制造的质量管理。

• 基于SEM/EDS的自动解析
• 从粒子的检测到尺寸、形状分析
  完全自动化到元素分析
• 使粒子尺寸、形状参数
  按化学组成分类
• 用户指定的
  格式报告

清洁度的自动检查系统
自动分析附着在制造部件上的微米级异物。
可以在短时间内迅速进行清洁度的管理和异物源的确定。

• 基于SEM/EDS的自动解析
• 从异物检测到尺寸、形状分析
  完全自动化到元素分析
• 将异物设为尺寸、形状参数
  按化学组成分类
• 符合ISO16232/VDA19
  报告

射击残渣（GSR）的自动分析系统
这是世界上第一个基于台式SEM的自动GSR分析系统。
可根据ASTM1588-17进行高精度分析。

• GSR粒子的自动检测
  可分类、报告
• 向导直观
• 搭载大试样室
  有多种法医应用