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透射电子显微镜中电子衍射强度的计算通常假设一个模型,该模型将晶体中的表面和界面表示为平边界(平边界模型,FBM)。结果表明,将晶体势表示为球形原子势的叠加的独立原子模型(IAM)可以改善边界条件。从两个模型计算出的强度与弱反射中的布拉格峰有较大偏差(例如200 in InGaAs)差异显著。将这两种计算结果与使用In的能量过滤大角度会聚束电子衍射记录的实验衍射图进行比较0.530.47/InP双晶。结果表明,采用IAM进行的计算与实验结果吻合较好。

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