2023年6月14日
株式会社日立制作所
日立株式会社

株式会社日立制作所（以下简称日立）和株式会社日立功率解决方案（以下简称日立功率解决方案）是关于自动检测半导体晶片接合部缺陷的超声波检查技术的专利（专利第6546826号），是公益社团法人发明协会主办的令和5年度（2023年度）的全国发明表彰“日本经济团体联合会会长奖”。被评价为在科学技术上具有优秀的进步性，并且取得了显著的实施效果的发明。
在2023年6月12日举办的表彰仪式上，日立力量解决方案董事总经理安藤次子作为发明人以及法人代表受到了表彰。

全国发明表彰概要

全国发明表彰是1919年创立的，旨在表彰在日本的发明、设计或设计的创作者以及发明的实施和奖励方面有功绩的研究者、科学家，为科学技术的提高和产业的发展做出贡献。

自动检测半导体晶片接合部缺陷的“超声波检查技术”的概要

在电子零件的制造现场，为了确保可靠性，接合部的缺陷的超声波检查是必不可少的。另一方面，电路图案的微细化和层叠晶片安装的三维化急速发展，检查装置要求在晶片的状态下检测更微小的缺陷的性能。

此次获奖的超声波检查技术是利用在半导体晶片内形成多个相同品种的芯片，根据晶片接合面的超声波图像，根据统计处理，自动且高灵敏度地检测直径10µm左右的缺陷的技术。与制造公差内变动的电路图形的形状偏差分离检测微小的缺陷的同时，晶片接合面的缺陷发生分布的可视化可能。
由此，能够确定故障过程，迅速改善工艺条件，为电子部件的稳定供给做出了贡献。

图儿。本发明缺陷自动检测结果的例子

获奖概述

相关信息

联系方式

株式会社日立制作所研究开发小组

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