平台概况-上海交通大学物理与天文学院

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上海交通大学物理与天文学院微纳加工与测试平台成立于2020年，现有实验面积600多平方米。平台面向校内外用户提供个性化高精尖科研支持服务，特别注重学生能力培养和提升。通过平台专业培训后，学生可亲自动手操作所有设备，实现对复杂微纳加工工艺和条件的探索，支撑高质量研究成果的产出。

超净间	非超净间
扫描电子显微镜&电子束曝光	综合物性测量系统（PPMS）
电子束曝光系统	热蒸发镀膜仪
紫外直写光刻机	原子力显微镜塞浦路斯
紫外光刻机(需掩模版）	原子力显微镜（室）公园
反应离子刻蚀机（RIE）	单晶和粉末X、【20202】
等离子体刻蚀系统	X·劳厄
电子束蒸发+热蒸发金属镀膜	光学浮区炉
热蒸发&电子束蒸镀设备	半导体器件参数分析仪
原子层沉积系统（阿尔德）	超声焊线机
等离子体灰化机,等离子体清洗机,光学显微镜，甩胶机，加热板，真空干燥箱	临界点干燥仪

地址：上海市东川路800号理科实验楼群
邮编：200240

沪交国际比较项目05010
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