用两种修正模型描述了位错（001）衬底上的超晶格结构。从这两个模型可以得出结论，在垂直于表面的倒数空间中存在一个强度分布棒，衍射图案的对称性从正方减少到单斜。然而，在第一个模型中，基板反射附近的衍射图案和在第二个模型中所谓的“平均晶格”反射附近的绕射图案仍然是四方的。忽视这两个事实可能会导致超晶格晶格参数测定的系统误差。这些误差是估计的。此外，还讨论了60°错配位错是层系相对于衬底倾斜的原因。三种GaAs/Ga的对称和非对称反射的X射线衍射研究证明了理论预测的有效性1 -x个在x个生长在（001）GaAs上的超晶格。第一个样品具有较大的取向错误，衍射行为符合上述模型。第二个样品显示了衍射图案，可以用层系统相对于衬底的倾斜来解释。第三个样品具有较大的定向误差和层系的较大倾斜，因此其衍射图案显示出两种效应的重叠。
