J.同步辐射。(2006).13,373-377
https://doi.org/10.107/S090904950602855X

用高度平行X射线微束衍射法估算薄硅-绝缘体层的结晶度

S.武田,K.横山由纪夫,Y.Tsusaka先生,鹿儿岛,J.松井和A.小村

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