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利用掠入射小角X射线散射(GISAXS)结合计算机断层扫描(CT)测量成功地重建了薄膜中纳米结构的空间分布图像。作为非均匀薄膜的模型样品,在硅衬底上分别由金(Au)、铂(Pt)、金/铂(Au/Pt)和铂/金(Pt/Au)纳米粒子组成的薄膜具有四个特征(F、B、S和L)。每个字符都产生了各自的二维GISAXS图像,反映了纳米颗粒结构及其在薄膜中的相关性。将GISAXS-CT技术应用于每个分量的特征散射GISAXS强度,可以独立重建每个字符的图像。此外,研究发现,即使在较高的散射强度下,也可以从非常弱的散射强度重建图案化图像q个位置和漫反射强度。这些结果表明,GISAXS-CT方法是获得详细描述颗粒大小、形状和表面粗糙度的清晰重建图像的有力工具。

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