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用于表面形状测量的白光干涉显微镜中的Teager-Kaiser能量和高阶算子

摘要

在白光干涉显微镜中,测量表面形状通常需要提取条纹函数包络的峰值。本文提出了用于条纹包络有效提取的Teager-Kaiser能量算子和高阶能量算子。这些能量算子在精度、噪声鲁棒性和子采样方面进行了比较。根据阶数和滞后参数,可以获得灵活的能量算符。结果表明,使用样条模型进行包络逼近的平滑和插值效果优于基于高斯的方法。

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与的通信法比安·萨尔岑斯坦.

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Salzenstein,F.,Montgomery,P.C.,Montaner,D。等。用于表面形状测量的白光干涉显微镜中的Teager-Kaiser能量和高阶算子。EURASIP J.高级信号处理。 2005, 731636 (2005). https://doi.org/10.1155/ASP.2005.2804

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