我们使用电子束光刻技术在单晶硅中制作了非常小（线宽<30 nm）的机械结构。这些结构可以通过在悬浮部分和底层基板之间施加电压来进行电容驱动。光学干涉技术用于检测共振频率高于40MHz的结构的运动。我们采用了一种由315nm周期的方形网格组成的设计，这导致了低质量(∼1×10−13 克)和较大的相对表面积(10−6 厘米2).此外，通过制作亚光学波长特征，可以改变光学特性，从而提高测量灵敏度。我们测量了小振幅下的振荡，其中检测到的光反射变化与驱动振幅成正比。

话题
电子束光刻， 光学干扰， 化学元素
1
高压交流。
蒂尔曼斯
，
M。
埃尔文斯波克
、和
J·H·J
Fluitman公司
，
传感器执行器A
30
，
35
(
1992
).
谷歌学者
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2
G。
茎
，
J.微型机械。马略能。
1
，
113
(
1991
).
谷歌学者
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三。
R.E.公司。
米哈伊洛维奇
和
北卡罗来纳州。
麦当劳
，
传感器执行器A
50
，
199
(
1995
).
谷歌学者
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4
R.V.Rozhardt，IEEE固态传感器致动器研讨会，1990年，第13页。
5
R.E.公司。
米哈伊洛维奇
和
J·M·。
帕皮亚
，
物理学。修订稿。
68
，
3052
(
1992
).
谷歌学者
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公共医学
 
6
J.A.公司。
散步的人
，
K.W.公司。
戈森
、和
南卡罗来纳州。
阿尼
，
J.微电子机械。系统。
5
，
45
(
1996
).
谷歌学者
交叉引用
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7
W.R.公司。
维什涅夫斯基
，
R.E.公司。
柯林斯
、和
学士。
派尔索普
，
传感器执行器A
43
，
170
(
1994
).
谷歌学者
交叉引用
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8
D.W.公司。
卡尔
和
H.G.公司。
克雷赫德
，
J.真空。科学。技术。B类
15
，
2760
(
1997
).
谷歌学者
交叉引用
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9
M.R.Houston、R.Maboudian和R.T.Howe，《第八届固态传感器和致动器国际会议论文集》，1995年，第1卷，第210页。
10
F.T.公司。
陈
和
H.G.公司。
克雷赫德
，
选择。莱特。
20
，
121
(
1995
).
谷歌学者
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搜索ADS
公共医学
 
11
答：N。
克利兰
和
M.L.公司。
鲁克斯
，
申请。物理学。莱特。
69
，
2653
(
1996
).
谷歌学者
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©1998美国真空协会。
1998
美国真空协会
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