本文报道了X射线波导分束器的制作和表征。波导通道是通过电子束光刻、反应离子蚀刻和硅片键合技术制造的，其中空（空气）通道形成了导层，硅作为包层材料。聚焦同步加速器束有效地耦合到输入通道。在波导芯片的出口处，光束被引导并分成两个具有受控（和可调谐）距离的通道。自由空间传播和衍射展宽后，两束光束相互干涉，在远场形成双缝干涉图样。根据记录的远场，通过相位恢复算法（误差减少）重建近场，发现该算法对于双通道设置非常可靠。通过数值传播方法，重建的光场沿光轴传播，以研究两个重叠光束干涉图样的形成。有趣的是，对相位涡进行了观察和分析。
