束线光学器件上的同步辐射诱导碳污染沉积导致其性能恶化，尤其是在碳附近K（K）边缘。碳污染导致的光子通量损失促使研究人员寻找合适的去污技术来恢复光学表面并保持其性能。几个就地和迁地为了解决这一严重问题，光束线光学器件的翻新策略仍在开发中。在这项工作中，使用电容耦合低压射频等离子体从大型（340 mm×60 mm）镀金环形镜表面去除碳污染。在射频等离子体清洗前后，利用拉曼光谱、软X射线反射率（SXR）和原子力显微镜（AFM）技术对反射镜进行了表征。受污染镜子的拉曼光谱清楚地显示了G（1575-1590厘米−1)和D（1362-1380厘米−1)石墨碳带。受污染镜子的SXR曲线在碳的临界动量转移附近显示出明显的倾斜，表明镜子表面存在碳污染。通过射频等离子体暴露去除污染层后，这种浸渍消失。在等离子体暴露期间，通过光学发射光谱法也观察到CO带的强度降低。AFM和SXR结果表明，等离子体曝光后镜面的平方根（r.m.s.）粗糙度没有增加。
