J.乌利格,W.B.多丽丝,J·W·福勒,D.S.斯威茨,C.杰伊,D.A.Fischer博士,C.D.Reintsema公司,D.A.贝内特,淡水河谷公司,U.曼达尔,G.C.奥尼尔,L.Miaja-Avila公司,Y.I.乔,A.埃尔·纳哈斯,W.富勒格尔,F.帕内夫乔德·古斯塔夫松,V.Sundström,D.库伦图,G.C.希尔顿,D.R.施密特和J.N.乌尔隆 X射线发射光谱(XES)是一种强有力的元素选择工具,可用于分析复杂化合物中原子的氧化状态,确定其电子构型,并在具有挑战性的环境中识别未知化合物。迄今为止,波长色散X射线光谱仪技术的低效率限制了XES的使用,尤其是与较弱的实验室X射线源结合使用时。更高效的能量色散探测器要么由于Fano描述的统计极限而能量分辨率不足,要么计数率太低而无法实际使用。本文更新了一种使用超导跃迁边缘传感器(TES)微热量探测器阵列的高分辨率X射线发射光谱方法。对TES阵列进行了讨论,并与传统方法进行了比较,说明了它们在哪些情况下更优越。实验还表明,TES阵列可以集成到桌面时间分辨X射线源和软X射线同步加速器束线中,在很宽的能量范围内以良好的化学灵敏度进行发射光谱分析。